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【天富测速登录】下一代解决方案来满足7nm技术节点以外的未来芯片生产要求

欧盟资助的SENATE项目是一系列主题关联计划的一部分,旨在推动ECSEL联合承诺下的处理器制造解决方案的发展,该计划支持使用极紫外(EUV)光刻工具生产首批商用7nm节点芯片。这些处理器已经在去年上市的几款智能手机中使用。

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总部位于荷兰的ASML是全球最大的电子工业光刻系统供应商,项目协调员Frans List表示:去年EUV计划的一个重要里程碑是多次发布涉及EUV光刻技术应用的消费产品。

“这表明我们的工具开发和利用试点设施的能力在使项目合作伙伴开发、测试、演示和传播其产品和工艺流程方面发挥了重要作用。SENATE项目中的所有活动都是为了支持欧洲供应商,以使芯片行业能够迁移到7nm节点。”

7纳米或7纳米技术节点是继10纳米之后的最新一代商业芯片,具有更小的功能尺寸和更小的晶体管,可转化为更快,更节能的处理器。反过来,这意味着功能更丰富,耗电更少的智能手机和其他电子设备。

SENATE开发的技术使这些芯片可以用世界上第一个商业EUV光刻系统来构建。它使用极短波长的紫外线将图案从不透明的模板(称为光掩模)转移到半导体基板上的光敏材料上,然后再引导沉积过程印刷集成电路。EUV光的13.5nm波长较短,能够更好地打印高级芯片设计中的纳米级特征。

List说:“要实现7nm节点能力,在光刻,计量学,掩模和芯片的材料以及工艺集成等领域需要进行许多创新。”

利用全球40个合作伙伴公司和研究机构的专业知识,项目团队克服了众多挑战,包括系统集成,创新的沉积工艺,EUV掩模基础设施,反射光学元件开发以及7nm节点的计量工具和模块的资格认证。这项工作导致了50多个项目出版物和33项专利。

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保持摩尔定律不变

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该项目协调员解释说:“通过促进光刻,计量和加工设备以及研究和技术组织的设备供应商之间的协作,该项目有助于满足7nm节点技术的规范,从而在电子行业中采用了7nm EUV。” 。

反过来,这有助于保持摩尔定律的生命力。

SENATE是自1990年代后期以来一直在欧盟支持下运行的,成功的“更多摩尔”主题项目链中的一个,该项目利用公私合作伙伴关系来帮助推动向后续芯片技术节点的迁移。

这些项目中进行的工作正在继续为欧洲半导体制造工具行业和相关领域的发展做出重大贡献,推动了创新和专利注册以及公司和工作岗位的增长。

摩尔定律是关于以更高的效率和更低的成本不断增长的对更多计算能力的需求。在技术上,当到达某个节点时,将已经有研究和开发活动来研究下一步的发展。List总结说,研发是将技术界限推向更高水平的持续活动。

在这方面,项目合作伙伴已经在寻求开发下一代解决方案,以满足7nm技术节点以外的未来芯片生产要求。

ECSEL(欧洲领导力电子元器件和系统联合事业)是欧盟驱动的公私合作伙伴关系,为电子元器件和系统的创新提供资金。

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